全自動RCA清洗機(jī)
施密科是集研發(fā),生產(chǎn),銷售為一體的濕法制程設(shè)備制造商
| 項目 | 數(shù)據(jù) |
| 適應(yīng)工件 | 6~12寸晶圓片清洗 |
| 批量產(chǎn)能 | 25/50pcs/批 |
| 工藝流程 | LOAD→SPM→QDR→DHF→QDR→SC1→QDR→SC2→QDR→DRYING→UNLOAD |
| 主要材料 | 金屬骨架+PVC/PPW殼板,槽體采用石英/PPN/PTFE材質(zhì) |
| 運(yùn)送方式 | 機(jī)械臂傳送 |
| 節(jié)拍時間 | 依工藝5~10min可調(diào) |
| 工藝效果 | 顆粒去除率達(dá)>99% |
| 其他說明 | 此設(shè)備可根據(jù)客戶要求定制手動/半自動 |
應(yīng)用 : 集成電路
類別 : 其他產(chǎn)品
應(yīng)用 : 集成電路
類別 : 其他產(chǎn)品
應(yīng)用 : 化合物半導(dǎo)體
類別 : 其他產(chǎn)品
應(yīng)用 : 集成電路
類別 : 其他產(chǎn)品