蘇州施密科微電子設(shè)備有限公司成立于2017年，是一家集研發(fā)，生產(chǎn)，銷售為一體的濕法制程設(shè)備制造商。秉承“以人為本、精益求精、品質(zhì)卓越、合作共贏”的經(jīng)營理念，以優(yōu)質(zhì)的生產(chǎn)工藝、超高的品質(zhì)控制、精細(xì)的設(shè)備管理，服務(wù)于晶圓襯底材料，化合物半導(dǎo)體、SAW、IGBT、MEMS、先進封裝等多個領(lǐng)域。
| 項目 | 數(shù)據(jù) |
| 適用圓晶尺寸 | 汥見鋝腐咯僦菁牮展拭?朩師8”晶圓 |
| 腔體數(shù)量 | 2EA,4EA,8EA可選 |
| 片盒 | 2EA,4EA Open Cassette或 (or) Load Port |
| ROBOT | 雙手臂傳送,防止交叉污染 |
| Chuck | 機械夾持式/真空吸附式 |
| 蝕刻 | 硅、氧化硅、銅、鈦、等金屬刻蝕 |
| 干燥方式 | Spin dry;N2 spin dry |
| 顆粒 | <10ea @0.3μm |
| 金屬離子 | All Metal<2.5E10 atoms/cm2 |
| 蝕刻均勻性 | <5% |
| 設(shè)備稼動率 | >98% |
| 設(shè)備外觀 | 9002白色(White)PVC |
| 設(shè)備尺寸 | 2100mm(L)*2100mm(W)*2300mm(H) |
| 通訊協(xié)議 | 支持(Support) SECS/GEM&MES |
應(yīng)用 : 集成電路
類別 : 其他產(chǎn)品
應(yīng)用 : 化合物半導(dǎo)體
類別 : 其他產(chǎn)品
應(yīng)用 : 集成電路
類別 : 其他產(chǎn)品
應(yīng)用 : 化合物半導(dǎo)體
類別 : 其他產(chǎn)品
