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蘇州施密科微電子設(shè)備有限公司

企業(yè)介紹

蘇州施密科微電子設(shè)備有限公司成立于2017年,是一家集研發(fā),生產(chǎn),銷售為一體的濕法制程設(shè)備制造商。秉承“以人為本、精益求精、品質(zhì)卓越、合作共贏”的經(jīng)營(yíng)理念,以優(yōu)質(zhì)的生產(chǎn)工藝、超高的品質(zhì)控制、精細(xì)的設(shè)備管理,服務(wù)于晶圓襯底材料,化合物半導(dǎo)體、SAW、IGBT、MEMS、先進(jìn)封裝等多個(gè)領(lǐng)域。

聯(lián)系方式

單片式濕法刷洗設(shè)備

單片式濕法刷洗設(shè)備

項(xiàng)目數(shù)據(jù)
應(yīng)用領(lǐng)域晶圓級(jí)晶圓制造(硅、碳化硅)和先進(jìn)封裝領(lǐng)域
圓晶尺寸

150mm~300mm

2~4個(gè)loadport

晶圓尺寸 Wafer size

晶圓翻轉(zhuǎn)功能,依次背面和正面清洗

配有背面刷洗和邊緣刷洗

兆聲清洗工藝及二流體清洗

支持SECS/GEM通訊協(xié)議

工藝標(biāo)準(zhǔn)

顆粒(Particles)<20ea@0.16um

PRE ≥97 % @ 0.09um

其他產(chǎn)品