金屬刻蝕機
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| 項目 | 數(shù)據(jù) |
| 適應(yīng)工件 | 6~8寸晶圓片清洗 |
| 批量產(chǎn)能 | 8寸25PCS/批 |
| 工藝流程 | Cu刻蝕→QDR→Ti刻蝕→QDR→Au刻蝕→QDR |
| 工藝槽功能 | 循環(huán)過濾+加熱冷卻+上下抖動+花籃提升 |
| 主要材料 | 金屬骨架+PVC/PPW殼板,槽體采用PPN/PVDF材質(zhì) |
| 運送方式 | 手動傳送 |
| 節(jié)拍時間 | 依工藝5~15min可調(diào) |
應(yīng)用 : 集成電路
類別 : 其他產(chǎn)品
應(yīng)用 : 集成電路
類別 : 其他產(chǎn)品
應(yīng)用 : 化合物半導(dǎo)體
類別 : 其他產(chǎn)品
應(yīng)用 : 集成電路
類別 : 其他產(chǎn)品